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UV光氧净化器的主要作用是达到脱臭及杀灭的目的。该净化器利用 高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
等离子净化设备又称低温等离子废气净化器。本工艺在电催化总的概念下，分三个即独立又混成的激发系统微波激发区、等离子激发区、极板激发区。
